Der erste Stirlingmotor wurde 1816 vom schottischen Geistlichen Robert Stirling zum Patent angemeldet. Die erste Maschine arbeitete als Wasserpumpe zur Entwässerung eines Steinbruchs in Schottland. Zu dieser Zeit waren Kesselexplosionen bei Dampfmaschinen relativ häufig. Stirling wollte die Arbeit in den Steinbrüchen und Kohlengruben sicherer machen. Neben der wesentlich verbesserten Sicherheit  spielte wohl auch der geringere Brennstoffverbrauch der Stirlingmotoren gegenüber den Dampfmaschinen eine Rolle bei der Entwicklung der neuen Technik.

Am Anfang des 20. Jahrhunderts waren weltweit ca. 250.000 Stirlingmotoren im Einsatz, als Tisch-Ventilatoren, Wasserpumpen und Antriebe für Kleingeräte wie z.B. Nähmaschinen. Sie versorgten Privathaushalte und kleine Handwerksbetriebe mit mechanischer Energie. Als sich Otto-, Diesel- und Elektromotoren immer weiter verbreiteten, wurden die Stirlingmotoren zunehmend vom Markt verdrängt.

Allein die Militärs hatten weiterhin Interesse an Stirlingmotoren, sie wußten die Vorteile dieser Technik zu schätzen. In den USA wurde z.B. ein kleines Stromaggregat (Ground-Power-Unit), in Schweden ein Motor für den U-Boot-Antrieb entwickelt. Die Vorteile dabei waren:

• leiser Lauf
• geringe Wärmeabstrahlung
• Robustheit / Langlebigkeit
• geringer Treibstoffverbrauch

Im zivilen Bereich gibt es heute fast nur Spielzeugmotoren zu kaufen.